����������ǿ���ײ����ڲ����о������������˹㷺��ע��Ϊ��ʹ��Щ���������ڽϴ�߶ȡ�ȫ���Ӧ��——Ӧ����Ӧ���ر�����С��10nm�߶��ϵIJ��������൱�ı�Ҫ�ԡ��������ڵ��о��в��õ�һЩ��������������ת�������취�Լ�����ѹ�۷�����������ԵIJ��������ԣ����ڵ��㼸�γߴ���5nm���µ����ײ�״�������û�п��õ����Ӧ��——Ӧ�����ߣ������ڴ˳߶��ϲ��ϵ���չ����Ҳ�������

 

������˹����Ī˹����ʵ���ҵ�Mara�ȿ�ѧ�ң�Ϊ�˵õ����׳߶ȸ������Ӧ��——Ӧ�����ߣ�����΢��ѹ�����Է����ڸ÷����о۽���Ga+�����������ڵ���΢����Ʒ�Ľṹ�Լ�ȷ��������Ʒ�ľ�ȷλ�ã���õ�Ӧ��——Ӧ�����߲����ܵ����β��ȶ��Ե�Ӱ�졣�ôſؽ�������ķ����õ���Cu-Nb���ײ�״������ø������е��������ײ���Ϊ5nm����΢��ѹ�����Է�����Cu-Nb���׸������Ӧ��——Ӧ�����ߣ��������������ӵ���൱�ߵ�����Ӧ��ǿ�ȣ���Լ2.4 GPa����5nm Cu/5nm Nb���ײ�״�����ﻹ���ֳ�����Ƿ��������ԣ�����25%����ʵӦ�䣩��

 

�����о��У�Mara���˲����ϳɳ����ʵ�5nm Cu/5nm Nb���׸���������һ���Ƚ������׳߶Ȳ���Ӧ��Ӧ�����߲��Է������˷������˴�ǰ����Ӧ��Ӧ�����߷��������׳߶��ϵľ����ԡ��ô˷������Ժϳɵ�5nm Cu/5nm Nb���׸������������2.4GPa�ij���Ӧ��ǿ�ȣ�������Խ��Ӧ�����ʡ�������ķ����ڡ�Ӧ�������챨����Appl. Phys. Lett.���ϡ�����ѧ������־ �Ž�/���룩