《固态电路杂志》近日发表了南京理工大学苏岩团队关于微电子机械系统（MEMS）的研究成果。该成果大大提高传感器的稳定性（精度），其性能达到国际已知最高水平。

惯性传感器是检测和测量加速度、倾斜、冲击、振动、旋转和多自由度（DoF）运动的传感器。采用MEMS工艺制造的惯性传感器通常只有几毫米甚至更小；而专用集成电路（ASIC）则可以将成千上万的晶体管电路集成于一块芯片，同样具有尺寸小的特点。两者都可大批量生产，成本极低。

因此，专用集成电路技术和MEMS技术将极大地降低惯性传感器的成本、体积和功耗，使得该类型传感器可广泛应用于消费电子类产品中。此外采用高性能ASIC后，还可降低环境因素及寄生参数对传感器性能的影响，大幅提升MEMS惯性传感器的精度，使该类型传感器可以在高精度导航制导领域得到应用。谐振式MEMS加速度计则实现了机械敏感结构与ASIC的对接，该传感器实现了小于1微克的零偏不稳定性，为已报道的最高性能。

该传感器适用于船舶、潜艇等高精度导航系统中，也可应用于无人机导航、可穿戴个人室内导航设备以及汽车稳定系统、安全气囊、游戏手柄、智能手机中。（来源：中国科学报 韩琨）